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高压工艺
Qulee with YTP-H 系列（真空规格）
Qulee with YTP-H 真空规格 (1, 10, 100, 500, 3000Pa)
アルバック
带有差动排气系统的四极质谱仪 ( Qulee with YTP-H ) 是ULVAC结合 Qulee 的丰富实际成果和顾客的需求开发的，实现了功能的充实和使用的简易。
多种真空设备的工艺管理，残留气体分析到R&D都可广泛应用。
多种真空设备的工艺管理，残留气体分析到R&D都可广泛应用。
特点
- 卓越的性价比 通过差分排气系统，可以在1台设备上实现从过程监控到残余气体分析（RGA）
- 紧凑的设计 采用标准排气装置Desktop YTP的紧凑型设计
- 显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量
- 操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
- 规格压力可选择 3000Pa，500Pa，100Pa，10Pa和1Pa的规格
- 可根据应用选择型号 质量数1 ～ 100（BGM2-101/102）、1 ～ 200（BGM2-201/202）、 1 ～ 300（HGM2-302）
- 低噪音： 运行时43dB(A)以下
- 无需真空计专用显示器：真空计信号可以在操作屏上显示（真空计可选）
- 完整的检漏功能 可以进行氦气检漏和漏气测试
- Qulee可对应Ethernet 标准配有QCS(Ver.4.2以降) 软件（Windows 8/10/11）适用
用途
- 研究开发用途的各种气体分析
- 溅射设备、真空蒸发设备等工艺中的气体监测
- 溅射设备、真空蒸发设备等的残留气体分析
- 高真空排气设备的残留气体分析
- 真空渗碳炉末端和氧浓度的确认
- 冷冻干燥设备的干燥点和杂质的确认
规格
| Qulee main body | Select from BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 ＊Refer to the product catalogue for the specification of Qulee |
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| Software Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用 | |||
| Max sampling pressure | 3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa | ||
| 22.5Torr / 3.75Torr / 0.75Torr / 7.5×10-2Torr / 7.5×10-3Torr | |||
| 30mbar / 5mbar / 1mbar / 0.1mbar / 1.0×10-2mbar | |||
| ＊Atmospheric pressure type can be used only under the atomospheric condition ＊3000 to 1Pa (22.5 to 7.5×10-3Torr,30 to 0.01mbar) types can be used under each pressure |
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| Vacuum type | Gas introduction type (3000Pa ～1Pa type) |
Manual bellows valve (2 systems: orifice line / direct line) Mating flange / ICF070 |
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| Variable leak valve type | Sampling pressure | Power-supply voltage | AC100-240V |
| Pump unit desktop YTP | Desktop YTP (YTP70A-D) |
Turbo molecular pump | 70L/s (N2) |
| Dry pump(Roughing) | 19L/min(Diaphragm pump) | ||
| Power-supply voltage | AC100-240V | ||
| Accessories | AC100V power cord(*1), Base stage for DesktopYTP(*2), AC adapter for Qulee, LAN cable(3m) for Qulee, Software installation disc, Bolt set for fixing flange, Gasket (ICF114G,ICF070G), Various fixing screws | ||
| Options | Ionization gauge package(SH200-1,Sensor head cable 2m, Cross tube, Bolts,Gaskets), USB-LAN adapter, Switching hub(8 ports or 16 ports)(*3),Floor cart(*4) | ||
＊1 Please use power code when using the device in a foreign country or a region where the electrical voltage differs from AC100V.
＊2 Make sure to use a base stage when installing desktop YTP.
＊3 AC adapter is necessary for an optional switching hub.
＊4 Please set up the floor cart by yourself.
